美国GasPro过滤器TEM-150-241.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25")
GasPro过滤器 TEM波滤器现货 TEM滤芯现货 TEM过滤器* GasPro滤芯
TEM-100功能和优点
•电抛光外壳过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳,防止腐蚀和粒子在内表面上积聚。
•包装外清洁度
我们的GasPro™ 清洁TEM-100过滤器,并包装在无尘室内,不含有机物包装外、无颗粒和无化学品清洁度。终组装已清除使用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。
•多种配件选项,便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封,压缩、对焊和NPT。特殊配件,包括三夹钳(三叶草)卫生和法兰类型,可根据要求提供。
•氦泄漏测试所有装置均以1x10-9 atm cc/s的速度进行测试。
TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口
PTFE/316L不锈钢
钢聚丙烯
氟橡胶®密封*899.9毫米(35.43英寸)
TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0")
TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25")
TEM-160-24 1.5“三夹端889 mm(35.0")
TEM-100高流量ePTFE串联滤器产品介绍
TEM-100高流量ePTFE串联滤器
GasPro TEM-100系列滤波器设计用于3 nm颗粒截留率高达300 scfm,且温度高达80C(176 F)。ePTFE膜(2.04 m2/22.0平方英尺)使用聚丙烯支撑结构封闭在316L不锈钢外壳,具有的流动性和耐化学性。使用标准Viton O形圈(其他O形圈材料可在重新测试时获得)。
TEM-100过滤器应用程序
•通用和工艺惰性气体设施半导体、平板显示器等高纯度产品应用程序。
•用于关键平板工艺的气体,包括基板退火。
•关键工艺的清洁干燥空气,包括前开口统一吊舱(FOUP)清洁和光刻
TEM-100规格说明
•过滤等级我们的多孔ePTFE过滤器可提供有效的3 nm颗粒保留。
•高工作温度*80°C(176°F)。
建议更换:在69ºC(156ºF)以上运行6个月。
•大工作压力20°C(68°F)时为17.2 bar(250 psig)。
•大正向流量压差20ºC(68ºF):6.0bar(87 psi)
80ºC(176ºF):4.0bar(58 psi)